Refurbishment von ASML Lithography Control Units

ASML-Systeme sind für eine lange Betriebsdauer ausgelegt. Viele Lithografiesysteme bleiben über Jahrzehnte hinweg im Einsatz. Um diesen Lifecycle-Ansatz zu unterstützen, arbeitet Neways gemeinsam mit ASML an der Durchführung von Refurbishment- und Upgrade-Aktivitäten für Electrical Control Units von Wafer Steppers und Wafer Scannern.

Durch die Kombination von Reparatur-, Test-, Upgrade- und Requalifizierungskompetenzen trägt Neways dazu bei, die Lebensdauer kritischer Systeme zu verlängern und diese gleichzeitig auf die neuesten Spezifikationen für den Wiedereinsatz in fortschrittlichen Semicon-Fertigungsumgebungen aufzurüsten.

Herausforderungen

Das Refurbishment und Upgrade von Electrical Control Units für moderne Lithografiesysteme erfordert tiefgehendes Systemwissen, streng kontrollierte Reparaturprozesse und umfangreiche Testkapazitäten. Die Herausforderung besteht nicht nur darin, bestehende Systeme wiederherzustellen, sondern sie gleichzeitig auf aktuelle Leistungs- und Qualifizierungsstandards aufzurüsten, ohne die Zuverlässigkeit zu beeinträchtigen.

Hierfür zerlegt Neways Electrical Control Units bis auf Komponentenebene. Die einzelnen Komponenten werden mit speziell für diese Anwendungen entwickelten Prüfgeräten, Softwarelösungen und Datenanalysetools inspiziert, repariert und getestet.

Da Neways über mehrere Generationen von ASML Wafer Scannern hinweg tätig ist, können die Teams Systeme gemäß den neuesten Spezifikationen und betrieblichen Anforderungen upgraden und requalifizieren. Nach Refurbishment und Validierung werden die Systeme zu vollständig qualifizierten „as-new“ Power Units wieder aufgebaut und für den erneuten Einsatz freigegeben.

Wichtigste Ergebnisse

Die Refurbishment- und Upgrade-Aktivitäten ermöglichen es ASML, die Betriebsdauer fortschrittlicher Lithografiesysteme erheblich zu verlängern und gleichzeitig die für die Semiconindustrie erforderlichen Leistungs- und Zuverlässigkeitsstandards aufrechtzuerhalten.

Mit dedizierten Re-Use-Teams, spezialisiertem Equipment und einer globalen operativen Präsenz hat Neways erfolgreich eine große Anzahl von Schaltschränken in einen „as-new“-Zustand versetzt. Im Vergleich zu neu produzierten Systemen können Refurbishment- und Upgrade-Aktivitäten die Durchlaufzeiten um bis zu 50 % reduzieren und gleichzeitig eine nachhaltigere Nutzung kritischer Halbleiteranlagen unterstützen.

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