Dynamic Links stellen eine Vakuumumgebung für eine hochpräzise Chiptechnologie sicher

5G- und KI-Technologien bilden den Hauptantrieb für die nächste Stufe der Chiptechnologie. Diese zukunftsweisende Technologie erleben Sie schon heute. Lithografiesysteme gehören zu den anspruchsvollsten aller komplexen Systeme. Stellen Sie sich vor, Sie reißen sich ein Haar vom Kopf und legen es auf den Mond. Anschließend beschießen Sie dieses Haar mit einem Laser, und zwar jedes Mal, wenn der Mond vorbeizieht, ohne es zu verfehlen. Das ist die Art von Präzision, mit der die nächste Stufe von Chips hergestellt wird.

Um diese Art von Kontrolle zu gewährleisten, operieren Lithografiesysteme weitgehend in einem Vakuum. Dieses Vakuum ist strikt von allen atmosphärischen Teilen des Scanners getrennt. Das dynamische Bindeglied besteht aus der Verbindung zwischen dem vakuumgesteuerten Herzstück des Lithografiesystems und seiner atmosphärischen Umgebung. Diese dynamische Verbindung stellt ein äußerst komplexes System mechanischer und elektronischer Technologien dar, das die beiden Welten voneinander trennt. Es sichert jederzeit und unter allen Bedingungen eine reine Vakuumumgebung.

Neways ist der Produktionspartner für die dynamische Verbindung und war maßgeblich an der Industrialisierung beteiligt. Bei uns werden fünf verschiedene Typen der dynamischen Verbindung mit unterschiedlicher Komplexität hergestellt, die bis zu 40 verschiedene Kabel aufnehmen können. Das beinhaltet ausgeklügelte Produktionsprozesse für die Kalibrierung, das Ausheizen und die Ausgasung zur Vermeidung der Kontamination von Stoffen für den Betrieb in einer Vakuumumgebung. Die Integration erfolgt mit Hilfe eines Pre-Shape-Tools für Präzisionsmontage und Steifheit. Gemeinsam mit unseren Kunden entwickelte Neways ebenfalls ein spezielles Transport-Tooling. Diese Werkzeuge gewährleisten, dass der dynamische Link bis zu seiner endgültigen Installation beim Kunden in seiner Position verriegelt ist, da jede Vibration während des Transports einen wesentlichen Einfluss haben kann.